
一、 核心目標與設計原則
?極致穩定性與高可用性:7x24小時不間斷運行,關鍵系統冗余設計,確保生產零中斷。
?卓越的安全性:兼顧物理安全與網絡安全,保護核心知識產權和高端設備。
?潔凈室環境保障:所有系統設備、管線部署需符合潔凈室規范,無塵、無振動、無干擾。
?高度集成與智能聯動:各子系統數據互通,實現跨系統智能決策與自動化控制。
?可擴展性與靈活性:適應技術快速迭代和未來產能擴張的需求。
?能效管理:實現對超高耗能設施的精細化管理,降低生產成本。

二、 核心子系統詳解
以下是根據半導體工廠特點定制的核心弱電智能化子系統:
1. 綜合布線系統
要求:作為所有信息傳輸的“高速公路”,必須滿足高帶寬、高可靠性、抗干擾要求。
?方案:
主干:采用單模/多模萬兆光纖,核心區域考慮40/100Gbps預部署。
水平:六類A或更高等級屏蔽/非屏蔽雙絞線,防止電磁干擾。
特殊區域:潔凈室內采用潔凈室專用線纜、面板和配件,防止產塵。
物理冗余:關鍵路徑(如核心機房到FAB車間)采用物理分離的雙路由布線。

2. 網絡系統
要求:穩定、高速、安全,并實現嚴格的網絡隔離。
?方案:
網絡分區:
生產網絡:獨立的物理或邏輯網絡,承載生產設備(如光刻機、刻蝕機)的實時數據,與外部網絡物理隔離或通過嚴格防火墻策略隔離。
辦公網絡:承載日常辦公、郵件、互聯網訪問等業務。
設施網絡:承載廠務監控系統數據。
安防網絡:承載視頻監控、門禁等數據。
無線網絡:在指定辦公區和公共區域覆蓋,生產區通常嚴格限制或禁用。
設備:采用工業級核心、匯聚及接入交換機,支持高可靠性協議。
3. 通信系統
要求:保障內外通信暢通,并滿足應急指揮需求。
?方案:
語音通信:部署IP-PBX系統,與公共電話網(PSTN)互聯。
無線對講系統:覆蓋全廠,特別是信號屏蔽嚴重的區域(如地下室、設備層),用于運維、安保和應急調度。
公共廣播與緊急廣播系統:與消防系統聯動,實現背景音樂播放和火災等緊急情況下的強制切換與疏散指揮。
4. 安全防范系統
這是半導體廠的重中之重,分為物理安全和網絡安全。
A. 物理安全:
?智能門禁一卡通系統:
多因子認證:在核心區域(如光刻區、CMP區、化學品庫)采用“卡+密碼”或“卡+生物識別(掌靜脈/指紋)”等方式。
防反傳/防尾隨:設置通道閘機或雙門互鎖。
權限精細化管理:根據不同人員(員工、訪客、承包商)設置不同的通行區域和時間。
與人員更衣流程聯動:集成電子衣柜管理。
?視頻監控系統:
無死角覆蓋:覆蓋主要出入口、周界、通道、重要設備區、化學品/特氣供應區、倉庫等。
高清智能分析:采用高清網絡攝像機,并集成智能分析功能(如區域入侵、人員聚集、物品遺留/丟失、人員軌跡跟蹤)。
潔凈室專用攝像機:采用無風扇、無塵設計,嵌入彩鋼板安裝,不影響潔凈度。
周界入侵報警系統:采用電子圍欄、紅外對射、振動光纖等技術,與視頻監控聯動。
安檢系統:在生產區出入口設置金屬探測門和X光行李掃描儀,防止未經授權的物品(如U盤、手機、相機)帶入,保護知識產權。

B. 網絡安全:
等保合規:遵循國家網絡安全等級保護(等保2.0)三級或更高要求。
縱深防御:部署下一代防火墻、入侵檢測/防御系統、網絡審計、防病毒體系。
生產網安全:采用工業防火墻隔離不同區域的生產設備,部署工控安全審計平臺。
終端安全:嚴格管理移動存儲設備的使用,部署終端安全管理軟件。
5. 樓宇自控與廠務監控系統
這是保障生產環境的核心,通常升級為廠務監控系統。
?監控對象:
暖通空調系統:對潔凈室的溫度、濕度、壓差、顆粒物濃度進行精密控制。
工藝冷卻水系統:監控水溫、水壓、流量。
純水/超純水系統:監控水質電阻率、流量、壓力。
大宗/特種氣體系統:監控氣體壓力、濃度、泄漏(通過有毒/可燃氣體報警系統)。
真空/壓縮空氣系統:監控壓力、露點。
廢氣/廢水處理系統:監控關鍵工藝參數。
電力監控系統:監控各級配電柜的電壓、電流、功率因數等。
功能:實時監控、自動調節、故障預警、能效分析、報表生成。

6. 數據中心/機房工程
位置:盡量靠近FAB車間,減少網絡延遲。
設計:A級標準,采用模塊化數據中心解決方案。
?子系統:
精密空調:保證恒溫恒濕。
不間斷電源系統:2N或更高冗余配置,確保關鍵負載不間斷供電。
氣體滅火系統:通常采用IG541、七氟丙烷等潔凈氣體。
動環監控系統:對供配電、UPS、空調、漏水、溫濕度、門禁等進行集中監控。
7. 智能物流與訪客管理
智能訪客系統:線上預約、身份證驗證、自動發放訪客卡、與門禁權限聯動。
智能儲物柜:與門禁系統聯動,實現物品的授權存取管理。
AGV調度管理:與電梯、自動門聯動,實現物料在潔凈室內的自動傳輸。
三、系統集成與智能管理平臺
將以上所有子系統集成到一個統一的智能建筑管理平臺或廠務監控平臺上,實現:
全局可視化:在“一張圖”上查看所有設備狀態、報警信息和關鍵績效指標。
?智能聯動:
消防與門禁聯動:火警時,自動打開對應區域的門禁,啟動緊急廣播。
入侵報警與視頻聯動:周界報警時,自動調取附近攝像頭畫面并錄像。
生產與廠務聯動:當關鍵生產設備預約開機時,提前調整潔凈室環境參數。
大數據分析與預測性維護:通過對設備運行數據的分析,預測潛在故障,變被動維修為主動維護。
能效優化:綜合分析電力、水、氣等能源數據,找出節能空間。
四、導體廠弱電智能化實施建議
?前期規劃:在工廠設計階段就介入,與主體工程、潔凈室工程、工藝系統同步規劃。
?專業團隊:選擇具有半導體行業成功實施經驗的集成商和供應商。
?標準與規范:嚴格遵循政策相關標準。
?生命周期管理:考慮系統的后期運維、升級和擴展性。
百實科技半導體廠弱電智能化已遠非傳統樓宇智能化的概念,一個優秀的半導體廠弱電智能化解決方案,不僅能保障工廠安全、穩定、高效地生產,更是其提升良率、降低成本、在激烈競爭中保持領先地位的核心武器。
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